Universal-200 D 是基于尊龙官网登录人生就是博登录自主知识产权创新技术开发的成熟8英寸CMP设备 。该设备配备性能优越的抛光单元及清洗单元，集成多种先进终点检测技术，适用于多种材质，可实现晶圆外貌的超高平整度，满足成熟制程技术需求，已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用 。
多分区抛光头
可实现产物干进干出
满足成熟制程技术需求
