Versatile-GM300是面向封装领域创新研发的超精密晶圆减薄设备。该设备接纳新型结构，可实现薄型晶圆反面超精密磨削与应力去除 ；兼容8/12英寸晶圆，搭载晶圆贴膜机联机使用，可实现从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动化作业 ；高可靠性的晶圆搬运系统有效降低薄型晶圆破损风险。该设备依托卓越的厚度在线量测与外貌缺陷控制技术，具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点，满足封装领域的薄型晶圆加工需求。
可实现全流程自动化作业
卓越的厚度偏差与外貌缺陷控制技术
高精度、高刚性、工艺开发灵活